Le hairíonna piezoelectric agus tréleictreach den scoth agus teocht Curie ard i gcomparáid le scannáin piezoelectric eile, baineadh úsáid as scannáin titanate siorcónáit luaidhe (PZT) i go leor réimsí, ó chórais micrea-leictrimheicniúla (MEMS) go braiteoirí ultrasonaic chuig bailitheoirí fuinnimh, áit a imríonn sé príomhról [1]. Sa phróiseas ullmhúcháin ábhar, tá conas feabhas a chur ar aonfhoirmeacht agus cobhsaíocht feidhmíochta na n-ábhar ar thóir leanúnach ar an bhfadhb.
Youcao Ma et al. [2] d’éirigh le scannán PZT micrean-tiubh a chomhtháthú isteach ar wafer sileacain 3-orlach trí mheascán de sputtering maighnéadrón teocht mheán agus cóireáil teasa tapa (RTP). Go háirithe, pléitear aonfhoirmeacht scannán PZT ar an wafer iomlán tar éis RTP, lena n-áirítear an difríocht treoshuíomh criostail, moirfeolaíocht dromchla agus comhdhéanamh eilimint ag poist éagsúla.
Léiríonn Fíor 1 go bhfuil treoshuíomh laitíse den chineál céanna (001) ag scannáin PZT, moirfeolaíocht dromchla, agus dáileadh eilimint ag áiteanna éagsúla, rud a léiríonn go gcabhraíonn cóireáil RTP le aonfhoirmeacht scannáin PZT a bhaint amach. Is féidir a fháil amach, roimh chóireáil RTP, nach bhfuil ach céim Py i scannán PZT, agus tar éis cóireáil RTP, go príomha (001) atá dírithe ar chéim Pe le feiceáil i scannán PZT. Ina theannta sin, léirigh dromchla na scannán PZT a chóireáil RTP grán colún eagraithe go dlúth gan scoilteanna nó poill soiléire.
Taispeántar airíonna tréleictreach agus feireleictreach scannáin PZT ag poist éagsúla ar an wafer tar éis cóireála RTP, lena n-áirítear tairiseach tréleictreach coibhneasta, lúb hysteresis ferroelectric agus caillteanas tréleictreach. Ina measc, tá moirfeolaíocht an dromchla an-réidh agus níl aon lochtanna soiléire ann, rud a léiríonn go bhfuil caighdeán maith dromchla ag an scannán PZT. Athraíonn an tairiseach tréleictreach coibhneasta agus an caillteanas tréleictreach le hathrú réimse leictrigh, rud a léiríonn fáinne féileacán ferroelectric tipiciúil, rud a chruthaíonn go bhfuil dea-airíonna ferroelectric ag scannáin PZT. Léiríonn na cuair réimse polaraithe-leictreacha tréithe ferroelectric tipiciúil freisin, rud a léiríonn go bhfuil dea-airíonna ferroelectric ag scannáin PZT.
Mar sin, cabhraíonn cóireáil RTP le feabhas a chur ar mhicreastruchtúr agus airíonna scannáin PZT, ionas go mbeidh treoshuíomh laitíse den chineál céanna (001), moirfeolaíocht dromchla agus dáileadh eilimint ag áiteanna éagsúla, rud a chabhródh le feabhas a chur ar aonfhoirmeacht agus feidhmíocht an scannáin.